16:00 〜 16:15 [18p-Z17-10] Si 含有DLC 成膜用テトラメチルシランプラズマ特性へ及ぼす投入電力の影響の計測 〇渡邉 泰章1、鈴木 駿2、石井 晃一2、小田 昭紀2、太田 貴之3、上坂 裕之4 (1.イノベーションサイエンス、2.千葉工大、3.名城大、4.岐阜大)