17:00 〜 17:50 [16p-P13-2] 面内振動型Au-MEMS素子のばね構造の検討 〇(B)端山 航平1、川島 康介1、澤田 宗興1、田村 健太郎1、山根 大輔1,2 (1.立命館大、2.JST さきがけ)