09:45 〜 10:00 [19a-Z29-4] 3次元積層型CIS向け分子イオン注入エピタキシャルウェーハの特性(IV)-Dark current spectroscopy法によるエピタキシャル層注入ウェーハの白キズ欠陥の抑制メカニズム解析- 〇柾田 亜由美1、門野 武1、奥山 亮輔1、廣瀬 諒1、小林 弘治1、鈴木 陽洋1、古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.SUMCO)