14:30 〜 14:45 [18p-Z24-5] プラズマCVDによるアモルファスシリコン堆積時の瞬間加熱に関する研究 〇(M1)野島 大志1、佐藤 拓磨1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先進理工)