10:00 〜 10:50 [19a-P04-9] プラズマエッチングにおける原子レベルダメージ低減のための低周波電圧を用いたウエハ局所帯電抑制手法の開発 〇落合 亮輔1、森 功1、田中 基裕1 (1.日立ハイテク)