10:00 〜 10:15
〇相澤 洸1、櫻井 匡1、石島 達夫1、田中 康規1、中野 裕介1、原 史朗2,3 (1.金沢大自然、2.ミニマルファブ、3.産総研)
相澤 洸
発表者・著者、共著者
2021年3月19日(金) 09:00 〜 11:45 Z24 (Z24)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2021年3月19日(金) 09:00 〜 11:45 Z24 (Z24)
10:00 〜 10:15
〇相澤 洸1、櫻井 匡1、石島 達夫1、田中 康規1、中野 裕介1、原 史朗2,3 (1.金沢大自然、2.ミニマルファブ、3.産総研)