[16a-P04-1~6] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[16a-P04-5] Microspectroscopic measurement and EDX analysis of NbO film with membrane structure fabricated by dry etching

〇Mina Sato¹, Akihiro Matsutani¹, Ryo Tsukui², Masaru Kino², Kodai Yamamoto², Mikio Kurita², Tetsuya Nagata² (1.Tokyo Tech., 2.Kyoto Univ.)

Keywords:membrane, EDX, Microspectroscopic measurement

薄膜材料の透過率や組成分析では，成膜された材料を下地基板とともに評価分析することが多いが，薄膜材料単体の透過率や組成分析を行うことができれば，下地基板の影響を適切に分離できる可能性がある。ここでは酸化ニオブNbO膜について，Deep-RIEやXeF2気相エッチングにより製作したメンブレン構造の分光透過率や組成分析を行った結果について報告する。