[16p-Z27-1~15] 15.4 III-V-group nitride crystals

△ [16p-Z27-10] Study on AlN Doubly-Resonant Microcavity Surface Emission DUV SHG Device

〇Tomoaki Nambu¹, Taketo Yano¹, Takumi Nagata¹, Ryo Tanabe¹, Soshi Umeda¹, Shuhei Ichikawa^1,2, Yasufumi Fujiwara¹, Masahiro Uemukai¹, Tomoyuki Tankawa¹, Ryuji Katayama¹ (1.Osaka Univ., 2.Research Center for UHVEM)

Keywords:SHG, DUV, Surface Emission

近年、深紫外線（DUV)を用いたウイルス不活性化に大きな注目が集まっている。中でも波長230 nm近傍の光は人体への直接照射が可能である。DUV光源の有力な候補としてAlN(吸収端波長: 210 nm)を用いた第二高調波発生(SHG)デバイスが挙げられ、有人領域での空間殺菌に期待できる。本発表では、AlN微小二重共振器型面発光DUV第二高調波発生デバイスを提案する。