[16p-Z27-1~15] 15.4 III-V-group nitride crystals

[16p-Z27-11] Fabrication of GaN Waveguide Microcavity Device for Broadband Photon Pair Generation

〇Takumi Nagata¹, Soshi Umeda¹, Takeru Kumabe², Yuto Ando², Masato Deki^2,3, Yoshio Honda⁴, Hiroshi Amano^3,4,5, Polzin Thomas⁶, Kazuki Yamada⁶, Motoaki Iwaya⁶, Msahiro Uemukai¹, Tomoyuki Tanikawa¹, Ryuji Katayama¹ (1.Osaka Univ., 2.Nagoya Univ., 3.VBL Nagoya Univ., 4.IMaSS Nagoya Univ., 5.ARC Nagoya Univ., 6.Meijo Univ.)

Keywords:photon pair generation, wavelength conversion, microcavity

我々が提案する微小共振器型光子対発生デバイスは、相互作用長が短く位相不整合の影響が小さいため、広帯域な光子対を発生させることができる。本研究ではTMAH水溶液を用いた異方性ウェットエッチングにより垂直性の高いDBRを形成し、被覆性の高い原子層堆積法（ALD法）を用いて深溝へAl₂O₃を埋め込んだ。