[16p-Z33-1~14] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-Z33-5] 自己組織化単層膜によるZnO(0001)面の表面伝導増大効果

〇塩谷 広樹^1,2、井上 尚子²、吉田 将郎²、清木 規矢³、庄子 良晃³、福島 孝典³、岩佐 義宏^2,4 (1.阪大ナノ、2.東大物工、3.東工大化生研、4.理研)

キーワード：酸化亜鉛、自己組織化単層膜、表面伝導

自己組織化単層膜（SAM）による固体表面修飾効果については、これまで様々な物性値の変調が報告されています。一方、新規分子から構成されるSAMの適用効果については、その結果は自明とは言い切れません。この為我々はSAM形成方法を独自開発した上で、電気伝導特性に着目し、新規分子SAMが引き起こすZnO (0001)面での表面伝導への影響について実験検討を行いました。本発表では、ZnO（0001）面の表面伝導におけるSAM修飾効果について報告します。