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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17a-Z03-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2021年3月17日(水) 09:00 〜 11:45 Z03 (Z03)

林久貴(キオクシア)、伊藤智子(阪大)

10:15 〜 10:30

[17a-Z03-6] βジケトンを用いた遷移金属原子層エッチング(ALE) の脱離生成物計測と反応機構解明

〇伊藤智子¹、唐橋一浩¹、浜口智志¹ (1.阪大院工)

キーワード：遷移金属、原子層エッチング