[17p-Z13-1~8] 1.6 Ultrasonics

△ [17p-Z13-4] Epitaxial PbTiO3 ultrasonic transducer for fingerprint imaging in the giga-hertz range using the reflectometry of back side of substrate

〇(M1)Yusuke Sato^1,2, Naoki Ishii^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:Fingerprint imaging, Piezoelectric device, PZT epitaxial films

超音波方式の指紋センサは指に汗や水が付着してもイメージングできるという特長を持つ。さらには小型の静脈認証センサへの期待が高まっている。過去に誘電率が高いpMUTを利用したイメージングデバイスが多数報告されている。pMUTは音響インピーダンスの低い媒質へと効率よく音波を伝搬できる代わりに、駆動周波数が数十MHzにとどまってしまう。本研究ではGHz帯厚み縦モードを用いることを考えた。GHz帯の超音波を用いることで空間分解能を向上させることができる。以上より本研究ではPbTiO3エピ薄膜のGHz帯厚み縦モードを用いた指紋イメージングを行った。