[17p-Z26-1~15] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

△ [17p-Z26-9] 同位体制御 ²⁸Si/SiGe量子計算基板における微小結晶傾斜角イメージング

〇竹内 公一¹、宮本 聡^1,2、伊藤 公平²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大工、2.慶大理工)

キーワード：シリコン量子ビット、SiGe、透過型電子顕微鏡(TEM)