[18a-Z16-1~8] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[18a-Z16-5] ディープラーニングを利用したナノインプリントプロセス・材料の設計

塚本 創¹、亀山 開¹、田邉 英毅¹、山村 龍平¹、川田 博昭¹、安田 雅昭¹、〇平井 義彦¹ (1.阪府大工)

キーワード：ナノインプリント、設計、ディープラーニング

多様な材料に対するプロセス設計では、材料のレオロジー特性をはじめとする物理・化学特性の把握が必要となるが、実験的に測定が困難な場合が生じることがある。そのため、限られた情報から経験に基づくプロセス設計を行う必要があった。ここでは、これまでの実験ならびにシミュレーション解析で得られた知識データベースをもとに、物理・化学的な意味づけが可能なニューラルネットワークを試作し、最適な材料・プロセス条件を推定するシステムの構築を試みた。