[18a-Z33-1~9] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[18a-Z33-7] Fabrication of miniaturized ITZO TFT for Active Pixel Image Sensor Application

〇Toshikatsu Sakai¹, Koki Imamura¹, Tomomi Takagi¹, Keitada Mineo¹, Toshihisa Watabe¹, Hiroto Sato¹, Satoshi Aihara¹ (1.NHK Sci. & Tech. Res. Labs.)

Keywords:TFT, Image sensor, ITZO

単板式小型カメラの高画質化に向け、波長選択性を持つ複数の有機光電変換膜と信号読み出し用TFT回路を積層し、デバイスの深さ方向で色分離可能な撮像デバイスの研究を進めている。
本デバイスにおいて、従来のTFT回路で課題であった外部ノイズの影響を低減可能な3トランジスタ型増幅画素回路の検討を進めている。今回、画素微細化に向けてチャネル長1μmの微細TFTを用いた増幅画素回路を試作し、その動作を確認したので報告する。