2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18a-Z33-1~9] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2021年3月18日(木) 09:00 〜 11:30 Z33 (Z33)

山田 直臣(中部大)、曲 勇作(島根大)

10:45 〜 11:00

[18a-Z33-7] 微細ITZO TFTを用いた撮像デバイス用画素回路の試作

堺 俊克1、今村 弘毅1、高木 友望1、峰尾 圭忠1、渡部 俊久1、佐藤 弘人1、相原 聡1 (1.NHK技研)

キーワード:TFT、撮像デバイス、ITZO

単板式小型カメラの高画質化に向け、波長選択性を持つ複数の有機光電変換膜と信号読み出し用TFT回路を積層し、デバイスの深さ方向で色分離可能な撮像デバイスの研究を進めている。
本デバイスにおいて、従来のTFT回路で課題であった外部ノイズの影響を低減可能な3トランジスタ型増幅画素回路の検討を進めている。今回、画素微細化に向けてチャネル長1μmの微細TFTを用いた増幅画素回路を試作し、その動作を確認したので報告する。