[18a-Z33-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18a-Z33-9] 超ワイドギャップアモルファス酸化物半導体を用いたショットキーバリアダイオードの逆バイアス特性

〇井手 啓介¹、笠井 悠莉華¹、片瀬 貴義¹、平松 秀典^1,2、細野 秀雄²、神谷 利夫^1,2 (1.東工大フロ研、2.東工大元素)

キーワード：アモルファス酸化物半導体