[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[18p-Z17-8] 容量結合型プラズマ装置内色彩センサによるその場測定と無線通信

〇櫻井 慶士¹、北川 貴之²、宮城 茂幸¹、登尾 一幸²、田口 貢士²、酒井 道¹ (1.滋賀県立大工、2.㈱魁半導体)

キーワード：プラズマ、センサ、無線通信

IoT（Internet of Things、モノのインターネット）をはじめとして、各種の安価センサを多数設置し、その大量のデータから自然・社会・産業活動状況（工場内見守りを含む）を把握しようという試みが広く行われている。しかし、工場の中では、そのような見守りが困難な箇所が多く残されており、その中の一つが真空装置内部である。我々は、真空装置内部の発光現象の監視のため、ガラスチャンバー内のプラズマ発光に対して、真空下で単独動作可能なIoT型色彩センサを開発したが、導体壁に囲まれた真空チャンバー内部への適用についてはまだ実績がない。本研究では、この色彩センサをステンレス製の真空チャンバー内部に設置し、生成されるプラズマの発光が直接検知可能か、そして無線通信により装置外部でデータ受信可能かについて報告する。