[18p-Z24-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [18p-Z24-9] アルカリ金属生成用三次元構造を一括形成したMEMSガスセルの開発

〇(M2)清瀬 俊¹、平井 義和¹、田畑 修²、土屋 智由¹ (1.京大工、2.京先端大工)

キーワード：量子センサ、ウェハプロセス、反応性イオンエッチング

アルカリ金属と不活性ガスをシリコンとガラスの容器に封入した小型ガスセルは，量子センサの重要な構成要素である．本発表は，ウェハレベルで小型かつ高性能なガスセル作製を目的に，CsN₃の加熱分解を使ったCs生成をシリコンの三次元微細構造で高効率に達成する新しいガスセル構造を報告する．ウェハレベルで一括作製したガスセルを330℃で約10分加熱すると，従来よりも低温・短時間で必要量のCs生成が確認できた．