[19a-Z13-1~8] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [19a-Z13-7] BAW transformer using the combination of high and low dielectric constant films

〇(B)Hiroki Kishi^1,2, Sarina Kinoshita^1,2, Kouta Izumi^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:Piezoelectric, Ferroelectric, Energy harvesting

環境電波を用いたエネルギーハーベスティングの場合、アンテナとダイオードから成るレクテナと呼ばれる素子を用いて電波をRF-DC変換する。本研究ではレクテナ昇圧回路のための素子として、入力側である単層側にPZT系エピ薄膜、出力側である多層側にc軸配向ScAlN/SiO₂多層膜を積層させた圧電薄膜トランスを提案する。入力側圧電薄膜として、出力側に比べ高誘電率な圧電薄膜を堆積させることで、入力側と出力側でインピーダンス変換をすることが出来る。