[19p-Z07-1~9] 3.7 Laser processing

[19p-Z07-6] In-process shape measurement of a groove processed by line-shaped femtosecond laser pulses

〇Satoshi Hasegawa¹, Masatoshi Fujimoto², Toshihisa Atsumi², Yoshio Hayasaki¹ (1.Utsunomiya Univ., 2.Hamamatsu Photonics)

Keywords:femtosecond laser processing, beam shaping, in-process measurement

空間光変調器により生成された整形ビームは，半導体やガラス基板のビア加工や，ダイシングのためのスクライブ加工に用いられている.これらの応用において，ビア深さや溝深さの制御は，加工の高品質化において重要である.加工深さの制御のために，加工形状をインプロセスで計測できれば， 所望の深さが得られるようにレーザー照射パラメータをフィードバック制御することが可能となる.本研究では，SLM による整形ビームを用いたレーザ ー加工における加工深さのインプロセス計測を報告する.