[19p-Z24-1~10] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[19p-Z24-8] Characterization of SN ratio and other performances in MINIMAL FAB TXRF Tool (TXRF Tester)

〇Shuichi Noda¹, Hiroshige Kogayu², Wataru Sakai³, Jun Hirose³, Tatsuya Hayashi³, Kana Onishi³, Hiroshi Nishizato³, Sommawan Khumpuang^1,2, Shiro Hara^1,2 (1.AIST, 2.MINIMAL, 3.HORIBA STEC)

Keywords:TXRF, metal film thickness tester, microanalysis

非単色の小型自然空冷型X線管を用いた高感度ハンディー型全反射蛍光X線（TXRF）分析装置を真空チャンバーに組み込んだ「ミニマルTXRFテスター」を開発した。本装置はTiNメタルゲート電極等の金属薄膜の膜厚計として最適化してあるが、超小型ながら検出感度が高く、汚染物質の微量分析にも適用が期待される。これを念頭にTXRF分析装置としての基本特性を評価した結果を示す。