[19p-Z24-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[19p-Z24-8] ミニマル全反射蛍光X線測定装置（TXRFテスター）の高いSN比等に関する評価

〇野田 周一¹、小粥 敬成²、酒井 渉³、廣瀬 潤³、林 達也³、大西 佳那³、西里 洋³、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.堀場エステック)

キーワード：全反射蛍光X線、金属膜厚計、微量分析

非単色の小型自然空冷型X線管を用いた高感度ハンディー型全反射蛍光X線（TXRF）分析装置を真空チャンバーに組み込んだ「ミニマルTXRFテスター」を開発した。本装置はTiNメタルゲート電極等の金属薄膜の膜厚計として最適化してあるが、超小型ながら検出感度が高く、汚染物質の微量分析にも適用が期待される。これを念頭にTXRF分析装置としての基本特性を評価した結果を示す。