15:15 〜 15:30 [20p-A105-6] ターゲット有効利用のための小型マグネトロンプラズマのアレー状配置型高周波マグネトロンスパッタ源の開発 〇(M1)升永 龍之介1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)