13:30 〜 13:45 [21p-C306-1] 反応性スパッタ法により成膜した窒化ハフニウム薄膜の仕事関数の窒素組成依存性 〇大住 知暉1,2、長尾 昌善2、後藤 康仁1 (1.京大院工、2.産総研)