09:30 〜 11:30 [20a-P01-5] ポジ型電子線レジストSML1000をマスクとして用いたSF6-RIEによるGeのドライエッチング 〇松谷 晃宏1、遠西 美重1、藤本 美穂1、松下 祥子2 (1.東工大OFC、2.東工大物質理工学院)