13:45 〜 14:00 [20p-C202-2] CZ-Si単結晶中のN-V複合体の安定性とそれにOが与える影響 (2) 〇佐田 晃1、野田 祐輔2、末岡 浩治2、梶原 薫3、宝来 正隆3 (1.岡山県大情報系工、2.岡山県大情報工、3.株式会社SUMCO)