16:00 〜 16:15 △ [22p-C105-10] SRO/Pt/Si基板上のTa2O5圧電薄膜の低レートにおける成膜と評価 〇(M2)松浦 佳祐1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、小寺 正徳2、舟窪 浩2 (1.山梨大、2.東工大)