13:15 〜 13:30 [20p-A406-2] ウェハ裏面洗浄を可能にするスピンドロップレット洗浄技術の開発(Ⅱ) 〇根本 一正1、谷島 孝1、三浦 典子2、佐藤 和重2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)