15:30 〜 15:45
〇田中 宏幸1、野沢 善幸2、速水 利泰2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.産総研、2.SPPテクノロジーズ、3.ミニマルファブ)
田中 宏幸
発表者・著者、共著者
2022年9月20日(火) 13:00 〜 16:30 A406 (A406)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2022年9月20日(火) 13:00 〜 16:30 A406 (A406)
15:30 〜 15:45
〇田中 宏幸1、野沢 善幸2、速水 利泰2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.産総研、2.SPPテクノロジーズ、3.ミニマルファブ)