13:30 〜 13:45 [20p-A406-3] ミニマルファブ における CV 特性モニタリングによる製造工程管理 〇佐藤 和重1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)