14:00 〜 14:15
〇野田 周一1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.誠南工業)
野田 周一
発表者・著者、共著者
2022年9月20日(火) 13:00 〜 16:30 A406 (A406)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2022年9月20日(火) 13:00 〜 16:30 A406 (A406)
14:00 〜 14:15
〇野田 周一1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.誠南工業)