14:30 〜 14:45 [20p-A406-7] ミニマル液体ドーパント・プロセスを用いたnMOSFETのシート抵抗のばらつき評価2 〇中道 修平1、田中 宏幸2、居村 史人2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)