14:15 〜 14:30 [20p-B201-4] GaNのRF-MBE成長におけるGaN自立基板の微小オフ角依存性 〇榊原 匠海1、出浦 桃子2、毛利 真一郎1、荒木 努1 (1.立命館大理工、2.R-GIRO)