15:30 〜 15:45 [20p-B201-8] スパッタ法で作製した高濃度Si添加AlxGa1-xN薄膜の光学特性評価 〇西川 祐人1、前田 亮太1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1 (1.東大生研)