17:45 〜 18:00 [20p-B203-18] パワー素子の放熱向上に向けたGa2O3/3C-SiC直接接合の特性評価 〇(M2)長井 啓1、川村 啓介2、浦谷 泰基2、坂井田 佳紀2、重川 直輝1,3、梁 剣波1,3 (1.大阪市大工、2.エア・ウォーター、3.大阪公大工)