14:30 〜 14:45 [20p-B203-7] Nイオン注入したβ-Ga2O3(001)試料の活性化アニール : Faceup配置 〇(M1)松田 彪雅1、三木 隼之介1、飯村 隆介2、唐 佳藝1、佐々木 公平2、倉又 朗人2、三木 一司1 (1.兵庫県立大工、2.ノベルクリスタルテクノロジー)