14:00 〜 14:15 [20p-C202-3] Si結晶中のフランク型積層欠陥における酸素原子の安定性 〇神山 栄治1,2、野田 祐輔2、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県立大情報工)