奥山亮輔

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発表者・著者、共著者

2022年9月20日(火) 13:30 〜 15:45 C202 (C202)

一般セッション(口頭講演)
| 15 結晶工学
| 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20p-C202-1~8] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

14:45 〜 15:00

[20p-C202-5] 3 次元積層型CMOS イメージセンサ向けCH₄N 分子イオン注入エピタキシャルシリコンウェーハの水素拡散挙動

〇奥山亮輔¹、門野武¹、柾田亜由美¹、鈴木陽洋¹、小林弘治¹、重松理史¹、廣瀬諒¹、古賀祥泰¹、栗田一成¹ (1.SUMCO)