15:00 〜 15:15 [21p-B202-7] RFマグネトロンスパッタリング法によるCu3N薄膜の作製とn型伝導の観測 〇藤中 将人1、中村 陽紀1、片桐 翔1、石川 博康1,2 (1.芝浦工大、2.グリーンエレクトロニクス国際研究研究センター)