田口貢士

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発表者・著者、共著者

2022年9月23日(金) 09:00 〜 11:45 B101 (B101)

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[23a-B101-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

09:00 〜 09:15

[23a-B101-1] PTFE スパッタ膜のフリップフロップ特性と OH 基の関係

〇田口貢士¹、富川弥奈¹、箕浦晧¹、山原基裕¹、登尾一幸¹ (1.株式会社魁半導体)

09:15 〜 09:30

[23a-B101-2] 一価のアルコールの構造の影響を受けるプラズマポリマー

〇田口貢士¹、柏木大樹¹、山原基裕¹、登尾一幸¹ (1.株式会社魁半導体)