09:15 〜 09:30 [23a-B204-2] i線ステッパーによる150 nm級Y型ゲートAlGaN/GaN HEMTの作製 〇安藤 裕二1,2、高橋 英匡1、牧迫 隆太郎1、分島 彰男3、須田 淳1,2 (1.名大院工、2.名大未来研、3.名工大)