13:45 〜 14:00 [23p-B204-2] N極性面上低温成膜Ge添加GaNスパッタ膜の電気的特性評価 〇山田 真嗣1、白井 雅紀2、小林 宏樹2、上村 隆一郎2、新井 学1、加地 徹1、須田 淳1 (1.名大、2.アルバック)