13:15 〜 13:30 [23p-C102-1] 低加速・単色化STEMを用いた価電子EELSによるβ-Si3N4中のサブギャップ励起のナノスケール分布観察 〇浅野 孝典1、手面 学1、齋藤 真澄1、田中 洋毅1、吉川 純2、木本 浩司2 (1.キオクシア、2.NIMS)