2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

都甲 薫

座長等

2022年9月21日(水) 09:00 〜 11:15 A406 (A406)

  • 一般セッション(口頭講演)
  • | 13 半導体
  • | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

都甲 薫(筑波大)、山中 淳二(山梨大)

2022年9月21日(水) 13:00 〜 17:45 A106 (A106)

  • 一般セッション(口頭講演)
  • | 15 結晶工学
  • | 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

都甲 薫(筑波大)、松村 亮(物材機構)