徳光永輔

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座長等

2022年9月22日(木) 13:30 〜 18:00 A307 (A307)

一般セッション(口頭講演)
| CS コードシェアセッション
| 【CS.7】 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェア

[22p-A307-1~17] CS.7 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェア

徳光永輔(北陸先端大)、平永良臣(東北大)、清水荘雄(物材機構)