[20a-B203-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20a-B203-3] 水を溶媒とするミストCVD法によるアナターゼ型TiO₂薄膜の作製

〇簾 智仁¹、Xu Han¹、三浦 弓恵¹、中山 亮¹、清水 亮太¹、山田 直臣²、金子 健太郎³、一杉 太郎^1,4 (1.東工大物質理工、2.中部大、3.京大院工、4.東大院理化)

キーワード：ミストCVD、酸化チタン