[20a-C101-1~13] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-C101-10] 熱インプリントとフォトリソ併用による貫通孔付き自立樹脂薄膜の作製

〇川田 博昭¹、安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.大阪公立大)

キーワード：自立フィルム、貫通孔、ナノインプリント

熱ナノインプリントを用いて微細貫通孔付き自立樹脂薄膜を作製する際インプリント後にホールパターンの底面に樹脂残膜が残るため貫通孔が得られない。そこで熱インプリント後の残膜をフォトリソグラフィのプロセスで取り除いて微細貫通孔付き自立樹脂薄膜を作製する熱インプリントとフォトリソグラフィを併用したプロセスを開発した。この新プロセスを用いることにより直径5mmの範囲に0.5μmの貫通孔付き自立PMMA/PS薄膜を損傷なく作製できた。