[20p-A105-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

[20p-A105-10] Development of a RF magnetized hollow-cathode discharge source with permanent magnets for high-density hydrogen plasma production

〇Takeshi Uchida¹, Ohtsu Yasunori¹ (1.Saga University)

Keywords:RF plasma, Hydrogen plasma, Hollow cathode

本研究では、高密度水素プラズマ生成を実現させるために、ホロー電極と永久磁石を用いて高周波磁化ホロー陰極放電装置の構築を行っている。今回は、ホロー陰極内での磁界シミュレーション解析を行い、電子のラーマ半径やホールパラメータについて報告する。