[20p-A105-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

△ [20p-A105-4] Monitoring of Material Surface Modification in Plasmas Using a Floating Harmonic Probe Method

〇Junki Morozumi¹, Koji Eriguchi¹, Keiichiro Urabe¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:Plasma and material surface, Probe measurement, Impedance spectroscopy

プローブ法は低温プラズマ中の電子プラズマパラメータ（n_e, T_e）の計測に広く使われてきた．しかし，反応性プラズマの計測においてはプローブ表面に抵抗体や絶縁体が形成され，電流電圧特性がその表面状態に大きく影響される．正確なプローブ計測のためには反応性プラズマ中のプローブ表面状態を知る必要がある．本研究は高調波プローブ（FHP）法を応用し，反応性プラズマ中で経時的に変化するプローブ表面状態を捉えた．